微观装置的制造及其处理技术
  • 在制备密集型微阵列结构过程中简便去除SU-8光刻胶的方法与流程
    本发明属于微制造,涉及金属基底上微电铸金属阵列器件类,特别涉及到一种在金属铜基底上制备密集型微阵列结构过程中简便去除su-8光刻胶的方法。随着mems技术的迅速发展,金属微器件在国防、航空航天、微电子、生物医学、精密机械等领域的需求快速增长。微电铸工艺是制作金属微器件的有效方法之一...
  • 一种电容式微机械超声换能器及其制备方法和应用与流程
    本发明属于微机电,涉及一种电容式微机械超声换能器及其制备方法和应用。超声波是一种振动频率高于声波的机械波,它具有频率高、波长短、绕射现象小、方向性好能够成为射线而定向传播等特点。超声波,能够传递信息,易于获得较集中的声能。超声波对液体、固体的穿透能力强,尤其是在阳光不透明的固体中,...
  • 一种电容式压力传感器及其制作方法与流程
    本发明属于电子器件,特别涉及一种电容式压力传感器,可用于汽车系统和工业领域中对大范围压力的测量。技术背景微机电系统mems压力传感器是压力监测系统的核心元件,其功能是将外界的压力转化成电容信号来被系统识别和处理。微机电系统mems压力传感器具有高灵敏度、低功耗、小体积和易集成的特点,在智能...
  • 减少混合信号多芯片MEMS器件封装中的串扰的制作方法
    本发明涉及用于串扰防护的方法和设备。更具体地,本发明涉及包括至少一个微机电传感器的电子部件封装中的串扰防护。微电子机械系统(简称为mems)可以被定义为其中至少一些元件具有机械功能的小型化的机械与电子机械系统。由于利用用于创建集成电路的相同或相似的工具来创建mems器件,因此可以在同一硅片...
  • 磺化PVDF基IPMC电致动器及其制备方法和在VR触感手套中的应用与流程
    本发明属于复合材料,具体涉及磺化pvdf基ipmc电致动器及其制备方法和在vr触感手套上的应用。在聚合物膜的两侧通过化学电镀的方法镀上贵金属如铂,金等,能制成离子聚合物金属复合物(ionicpolymermetalcomposite,ipmc),又称人工肌肉。该材料在电场作用下能发...
  • 微夹持器制备工艺的制作方法
    本发明涉及制造mems工艺,特别是涉及一种微夹持器制备工艺。随着生物医学工程和微机电系统(mems)的迅猛发展,微操作对象的尺度不断减小。在医学、生物学、自适应光学,特别是动植物基因工程、农产品改良育种等领域,需要对单一游离细胞进行抓取搬运和释放操作,同时需要向细胞内注入或抽离细胞...
  • 银-硫化钼二聚体胶体马达及其制备方法与流程
    本发明涉及一种胶体马达及制备方法,尤其是一种银-硫化钼二聚体胶体马达及其制备方法。胶体马达是一类在液相中能够将化学、电、磁等其它形式的能量转化为自身机械运动的器件,并有望能够完成药物运输、环境净化以及离子检测等复杂的任务。胶体马达的运动主要依赖于催化组分(如可实现对燃料过氧化氢催化的pt、...
  • 具有悬置结构的MEMS设备及制造MEMS设备的方法与流程
    本公开涉及mems设备(mems=微机电系统)以及用于制造对应mems设备的方法,其中mems设备包括经由悬置结构机械地耦合至支持件以围绕枢轴枢转的本体。mems器件(诸如mems扫描镜)被用于不同领域。mems设备可包括围绕至少一个枢轴枢转以实现期望效果的本体(诸如镜体),诸如将电磁能、...
  • 光掩模和微细结构的加工方法与流程
    本申请涉及半导体,尤其涉及一种光掩模和使用该光掩模的微细结构的加工方法。在半导体器件,特别是微机电系统(mems)器件的制造过程中,常常把半导体基板的表面加工成某种凸凹构造,然后在凸凹构造的表面形成无断缝或开孔的连续覆盖膜。有时,还需要覆盖膜的厚度均匀。但是,当凸凹构造的高低差比较...
  • 一种双向应变的MEMS压力传感器制备方法及其传感器与流程
    本发明属于压力传感器,具体涉及一种双向应变的mems压力传感器制备方法及其传感器。压力是工业生产中的重要参数之一,为了保证安全、高效的生产,必须对压力进行实时监测和控制。mems压力传感器具有体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化等优点。按工...
  • 一种半导体芯片及其加工方法与流程
    本发明涉及半导体制造领域,尤其涉及一种半导体芯片及其加工方法。mems(microelectromechanicalsystem,微机电系统)器件由于其体积小、成本低、集成性好等特点,已得以越来越广泛的应用在如消费电子、医疗、汽车等产品中。常见的mems器件包括但不限于压力传感器、磁传感器...
  • MEMS传感器、MEMS传感器系统及其制造方法与流程
    本公开涉及mems传感器(例如mems麦克风或压力传感器)、mems传感器系统、以及提供mems传感器系统的方法。本公开还涉及具有两个声音进入开口的mems麦克风(双端口麦克风)。具有膜的微机电系统(mems)可以用硅技术制造,并且可以具有基于膜偏移的功能。这种mems的示例如mems麦克...
  • 包括热延伸层的微电子??楹推渲圃旆椒ㄓ肓鞒? width=
    本公开的实施例总体上涉及微电子学,并且更具体地说,涉及包含热延伸层的高热性能微电子??橐约坝糜谥圃煺庵治⒌缱幽?榈姆椒?。高功率微电子???,如包含rf半导体管芯和其它电路系统的??樵谀?椴僮髌诩渚R子诓嗳攘?。在不存在用于充分消散来自??榈娜攘康娜冉饩龇桨傅那榭鱿?,微电子??槟诳赡懿?..
  • 一种减小摩擦力的硅基石墨烯纳米凸结构及其制备方法与流程
    本发明属于材料领域,特别是减小表面摩擦力的纳米材料领域。摩擦、磨损对人类社会影响深远。全球约80%的器件设备和部件失效皆由磨损引起。摩擦磨损的存在,使得许多关键技术(从航天器、到微机电系统等)遇到发展瓶颈。当将系统尺寸减小到纳米尺度时,由于本质上高的表面与体积比,即使最轻微的表面磨损也可能...
  • 用于有源电路封装的微型机电系统(MEMS)装置防静摩擦的装置和方法与流程
    本申请是申请日为2014年6月24日、申请号为201480035997.2、发明名称为“用于有源电路封装的微型机电系统(mems)装置防静摩擦的装置和方法”的中国发明专利申请的分案申请。相关申请交叉引用本专利合作协定(pct)申请要求于2013年6月25日提交的美国专利申请序列号13/926,25...
  • 一种低成本的基于应力剥离技术的微悬臂梁的制备方法与流程
    本发明涉及一种微悬臂梁的制备方法,尤其涉及一种低成本的基于应力剥离技术的微悬臂梁的制备方法。微悬臂梁是mems(micro-electro-mechanicalsystem,微机电系统)领域的一个重要部件,因其具有低成本、小体积、高性能等特点而被广泛应用于传感器领域。微悬臂梁是指一端固支另...
  • 用于MEMS器件的敏感结构贴片系统及方法与流程
    本发明涉及mems器件封装,尤其涉及一种用于mems器件的敏感结构贴片系统及方法。敏感结构贴片技术是mems器件(micro-electro-mechanicalsystem,微电子机械系统)封装的关键工艺技术之一,贴片精度和贴片效率直接影响mems器件性能指标和批产能力。当前,采...
  • 一种绝缘图形化高导热金刚石散热器件的制备方法与流程
    本发明属于电子器件制造领域技术;特点是在大尺寸高导热金刚石材料表面进行周期性金属图形化,通过激光切割实现图形化高导热金刚石散热器件的分离,并通过后续绝缘处理实现分离型金刚石散热器件的制作,解决了高导热金刚石应用过程中绝缘工艺匹配以及批量制备效率低的问题。金刚石薄膜具有优良的物理与化学性质,...
  • 一种末端膨大微结构阵列仿生黏附材料的制备方法与流程
    本发明涉及一种黏附材料的制备方法,特别涉及一种末端膨大微结构阵列黏附材料的制备方法。自然界中许多生物在垂直表面甚至天花板上表现出卓越的附着能力。例如飞蛾幼虫、部分甲虫、苍蝇、蜜蜂、蜘蛛、壁虎等,这种所谓的“干黏附”能力得益于它们脚掌底部的微结构。受这种生物功能的启发,学者们对各种几何形状的...
  • 一种钴镍双金属羟基亚磷酸盐棒状晶体阵列薄膜及其制备方法与流程
    本发明涉及一种以多孔纤维材料为基底的晶体阵列薄膜及其制备方法,尤其是涉及以活性炭纤维为基底的一种钴镍双金属羟基亚磷酸盐棒状晶体阵列薄膜及其制备方法。过渡金属羟基亚磷酸盐m11(hpo3)8(oh)6(m=zn,ni或co)是一种新型无机材料,由于其化学计量关系的多样性和丰富的结构化学特性,...
技术分类
现金购彩注册 梧州市| 乌兰察布市| 黄平县| 凌海市| 鱼台县| 阜平县| 肥乡县| 新建县| 永春县| 邳州市| 石城县| 乌拉特前旗| 新巴尔虎左旗| 平利县| 娄底市| 阜平县| 桃源县| 扎兰屯市| 略阳县| 望谟县| 长春市| 大悟县| 昌江| 衡阳市| 射洪县| 讷河市| 罗田县| 广丰县| 临西县| 肃宁县| 韩城市| 黄大仙区| 汽车| 黄陵县| 彭州市| 望城县| 门头沟区| 昌邑市| 申扎县| 宝丰县| 霍城县|